TY  - RPRT
TI  - Defect microchemistry at the SiO2/Si interface.
AU  - GW Rubloff
AU  - K Hofmann
AU  - M Liehr
AU  - DR Young
PY  - 1987
DO  - 10.1103/physrevlett.58.2379
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/10034730/
ID  - 10034730
ER  -