TY  - RPRT
TI  - Impurity diffusion via an intermediate species: The B-Si system.
AU  - NE Cowern
AU  - KT Janssen
AU  - van de Walle GF
AU  - DJ Gravesteijn
PY  - 1990
DO  - 10.1103/physrevlett.65.2434
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/10042547/
ID  - 10042547
ER  -