TY  - RPRT
TI  - Electrochemical micromachining
AU  - R Schuster
AU  - V Kirchner
AU  - P Allongue
AU  - G Ertl
PY  - 2000
DO  - 10.1126/science.289.5476.98
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/10884233/
ID  - 10884233
ER  -