TY  - RPRT
TI  - Quantum interferometric optical lithography: exploiting entanglement to beat the diffraction limit
AU  - AN Boto
AU  - P Kok
AU  - DS Abrams
AU  - SL Braunstein
AU  - CP Williams
AU  - JP Dowling
PY  - 2000
DO  - 10.1103/physrevlett.85.2733
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/10991220/
ID  - 10991220
ER  -