TY  - RPRT
TI  - Modified fabrication process for aperture probe cantilevers.
AU  - A Vollkopf
AU  - O Rudow
AU  - T Leinhos
AU  - C Mihalcea
AU  - E Oesterschulze
DO  - 10.1046/j.1365-2818.1999.00535.x
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/11388264/
ID  - 11388264
ER  -