TY  - RPRT
TI  - iTIRM as a tool for qualifying polishing processes.
AU  - Oliver W Fähnle
AU  - Torsten Wons
AU  - Evelyn Koch
AU  - Sebastién Debruyne
AU  - Mark Meeder
AU  - Silvia M Booij
AU  - Joseph J M Braat
PY  - 2002
DO  - 10.1364/ao.41.004036
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/12099615/
ID  - 12099615
ER  -