TY  - RPRT
TI  - Nanochemical surface analyzer in CMOS technology.
AU  - W Frank
AU  - D Lange
AU  - S Lee
AU  - A Hierlemann
AU  - N Spencer
AU  - H Baltes
PY  - 2002
DO  - 10.1016/s0304-3991(02)00078-5
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/12211470/
ID  - 12211470
ER  -