TY  - RPRT
TI  - Wave-front correction methods for extreme-ultraviolet multilayer reflectors.
AU  - Mandeep Singh
AU  - Matthieu F Bal
AU  - Joseph J M Braat
AU  - Denis Joyeux
AU  - Udo Dinger
PY  - 2003
DO  - 10.1364/ao.42.001847
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/12683765/
ID  - 12683765
ER  -