TY  - RPRT
TI  - MSTAR: a submicrometer absolute metrology system.
AU  - O P Lay
AU  - S Dubovitsky
AU  - R D Peters
AU  - J P Burger
AU  - S W Ahn
AU  - W H Steier
AU  - H R Fetterman
AU  - Y Chang
PY  - 2003
DO  - 10.1364/ol.28.000890
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/12816236/
ID  - 12816236
ER  -