TY  - RPRT
TI  - Electrostatic nanolithography in polymers using atomic force microscopy.
AU  - Sergei F Lyuksyutov
AU  - Richard A Vaia
AU  - Pavel B Paramonov
AU  - Shane Juhl
AU  - Lynn Waterhouse
AU  - Robert M Ralich
AU  - Grigori Sigalov
AU  - Erol Sancaktar
PY  - 2003
DO  - 10.1038/nmat926
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/12819776/
ID  - 12819776
ER  -