TY  - RPRT
TI  - Vacuum-ultraviolet beam array generation by flat micro-optical structures.
AU  - R Grunwald
AU  - U Neumann
AU  - V Kebbel
AU  - H J Kühn
AU  - K Mann
AU  - U Leinhos
AU  - H Mischke
AU  - D Wulff-Molder
PY  - 2004
DO  - 10.1364/ol.29.000977
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/15143646/
ID  - 15143646
ER  -