TY - RPRT TI - Colloidal lithographic nanopatterning via reactive ion etching. AU - Dae-Geun Choi AU - Hyung Kyun Yu AU - Se Gyu Jang AU - Seung-Man Yang PY - 2004 DO - 10.1021/ja0319083 UR - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/15174872/ ID - 15174872 ER -