TY  - RPRT
TI  - Single-chip mechatronic microsystem for surface imaging and force response studies.
AU  - Sadik Hafizovic
AU  - Diego Barrettino
AU  - Tormod Volden
AU  - Jan Sedivy
AU  - Kay-Uwe Kirstein
AU  - Oliver Brand
AU  - Andreas Hierlemann
PY  - 2004
DO  - 10.1073/pnas.0405725101
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/15569945/
ID  - 15569945
ER  -