TY  - RPRT
TI  - A simple electron-beam lithography system.
AU  - Kristian Mølhave
AU  - Dorte Nørgaard Madsen
AU  - Peter Bøggild
PY  - 2005
DO  - 10.1016/j.ultramic.2004.09.011
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/15639352/
ID  - 15639352
ER  -