TY  - RPRT
TI  - Electrostatic force-assisted nanoimprint lithography (EFAN).
AU  - Xiaogan Liang
AU  - Wei Zhang
AU  - Mingtao Li
AU  - Qiangfei Xia
AU  - Wei Wu
AU  - Haixiong Ge
AU  - Xinyu Huang
AU  - Stephen Y Chou
PY  - 2005
DO  - 10.1021/nl0480161
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/15755108/
ID  - 15755108
ER  -