TY  - RPRT
TI  - Introduction to microfabrication techniques.
AU  - Rabih Zaouk
AU  - Benjamin Y Park
AU  - Marc J Madou
PY  - 2006
DO  - 10.1385/1-59259-997-4:3
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/16508060/
ID  - 16508060
ER  -