TY  - RPRT
TI  - [Sandblasting instead of etching?].
AU  - W Wiedemann
AU  - H G Klinger
AU  - B Hübers
AU  - F Topitsch
PY  - 1982
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/6756888/
ID  - 6756888
ER  -