TY  - RPRT
TI  - Microlithography by using neutral metastable atoms and self-assembled monolayers.
AU  - K K Berggren
AU  - A Bard
AU  - J L Wilbur
AU  - J D Gillaspy
AU  - A G Helg
AU  - J J McClelland
AU  - S L Rolston
AU  - W D Phillips
AU  - M Prentiss
AU  - G M Whitesides
PY  - 1995
DO  - 10.1126/science.7652572
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/7652572/
ID  - 7652572
ER  -