TY  - RPRT
TI  - Microfabrication in silicon microphysiometry.
AU  - G T Baxter
AU  - L J Bousse
AU  - T D Dawes
AU  - J M Libby
AU  - D N Modlin
AU  - J C Owicki
AU  - J W Parce
PY  - 1994
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/8070104/
ID  - 8070104
ER  -