TY  - RPRT
TI  - Range profiles in self-ion-implanted crystalline Si.
AU  - K Nordlund
AU  - J Keinonen
AU  - E Rauhala
AU  - T Ahlgren
PY  - 1995
DO  - 10.1103/physrevb.52.15170
UR  - https://pubmed.ncbi.nlm.nih.gov/9980871/
ID  - 9980871
ER  -